質量流量控制器即Mass Flow Controller (MFC)，不但具有質量流量計的功能，還可自動控制氣體流量，用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。氣體質量流量單位一般以 SCCM ( Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute)來表示，亦即每分鐘標準毫升、每分鐘標準升。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。

       熱式質量流量計直接測量流體質量流量，輸出質量流量信號，無需其他設備，如溫度測試儀和壓力表，也無需進行換算。其本身無類似轉軸等的移動部件，增加了本身的可靠性，無需機械維護。可以測量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍大。質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出，還可以實現(xiàn)流量的自動控制。
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