輸入電源  
220VAC50/60Hz,單相  
2000W(包括泵)  
濺射電源  
安裝有兩個(gè)濺射電源  
直流（DC）電源：500W，針對(duì)于制作金屬膜  
射頻（RF）電源：600W，可制作氧化物和金屬膜  
同時(shí)可選配300W的射頻電源  
磁控濺射頭  
儀器中安裝有2個(gè)磁控濺射頭，而且都帶有水冷夾層，可通入冷卻水對(duì)靶材降溫  
其中一個(gè)濺射頭與射頻電源相連接，主要是濺射絕緣性靶材  
另一個(gè)濺射頭與直流電源相連接，主要濺射導(dǎo)電性靶材  
靶材尺寸要求：金屬靶：直徑為50mm,zui大厚度1.5mm  
陶瓷靶：直徑為50mm,zui大厚度6mm  
儀器中標(biāo)配一個(gè)不銹鋼靶和氧化鋁陶瓷靶  
濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺(tái)流速為16ml/min的循環(huán)水冷機(jī)）  
也可以根據(jù)自己的要求選擇2個(gè)射頻濺射頭或3個(gè)射頻濺射頭，訂購(gòu)前需于本公司銷(xiāo)售人員  
真空腔體  
真空腔體：300mmDiax300mmh，采用不銹鋼制作  
觀察窗口：100mmdiameter  
腔體打開(kāi)方式采用上頂開(kāi)，使得換靶更加容易  
載樣臺(tái)  
載樣臺(tái)尺寸：140mmdia.（zui大可放置4"的基底）  
載樣臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)，其速度為：1-20rpm（可調(diào)）  
載樣臺(tái)zui高可加熱溫度為500℃，控溫精度為+/-1.0°C  
氣體流量控制器  
儀器內(nèi)部安裝有2個(gè)質(zhì)量流量計(jì)  
量程為：0-200sccm  
氣體流量設(shè)置可以在6英寸的觸摸屏上進(jìn)行操作
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